EUV-Lithografie: Chinesischer Hersteller zeigt eigenen Laser-Prototyp
Langdao Silex hat einen Prototypen für eine Plasma-Lichtquelle für heimische EUV-Lithografie-Systeme vorgestellt, wobei die Serienreife noch fern ist.
Langdao Silex hat einen Prototypen für eine Plasma-Lichtquelle für heimische EUV-Lithografie-Systeme vorgestellt, wobei die Serienreife noch fern ist.